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Film Deposition by Plasma Techniques
EISBN：9783642845116
PISBN：9783642845130
出版社：Springer Berlin Heidelberg
出版类型：Graduate/advanced undergraduate textbook
出版时间：1992
作者：Mitsuharu Konuma
主题词：Atomic,Molecular,Optical and Plasma Physics,Condensed Matter Physics,Engineering,general
语种：英语
所属数据库：SpringerLink电子图书
丛书题名：Springer Series on Atomic, Optical, and Plasma Physics
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