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Handbook of Thin Film Deposition, 5e
PISBN：9780443135231
出版社：Elsevier
出版类型：专著
出版时间：2024
版次：5
作者：Krishna Seshan
主题词：Thin Film Deposition,Semiconductor Applications,Microproperties,Ferroelectric Films,LED Research,Memory Applications,Fabrication Methods,Deposition Technologies
学科：TB4 工业通用技术与设备
语种：英语
所属数据库：Elsevier电子图书
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