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Multilayer Integrated Film Bulk Acoustic Resonators
EISBN：
9783642317767
PISBN：
9783642317750
出版社：
Springer Berlin Heidelberg
出版类型：
Monograph
出版时间：
2013
作者：
Yafei Zhang,Da Chen
主题词：
Nanotechnology and Microengineering,Surfaces and Interfaces,Thin Films,Solid State Physics
语种：
英语
所属数据库：
SpringerLink电子图书
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出版时间：
2023
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