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The Physics of Submicron Lithography
EISBN：
9781461533184
PISBN：
9780306435782
出版社：
Springer US
出版类型：
Contributed volume
出版时间：
1992
版次：
1992
作者：
Kamil A. Valiev
主题词：
Physics,Solid State Physics,Spectroscopy and Microscopy,Condensed Matter Physics,Crystallography and Scattering Methods,Electrical Engineering,Optical and Electronic Materials
语种：
英语
所属数据库：
SpringerLink电子图书(1815-2004)
丛书题名：
Microdevices
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David K. Ferry,Robert O. Grondin
EISBN：
9781461532842
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Springer US
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9781461327776
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作者：
Harold L. Grubin,David K. Ferry,C. Jacoboni
EISBN：
9781489923820
出版社：
Springer US
出版时间：
1988
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