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Multi-Wafer Rotating MEMS Machines
EISBN：9780387777474
PISBN：9780387777467
出版社：Springer US
出版类型：Monograph
出版时间：2010
作者：Jeffrey Lang
主题词：Electronics and Microelectronics,Instrumentation,Energy Technology,Circuits and Systems,Electrical Engineering,Energy,general
语种：英语
所属数据库：SpringerLink电子图书
丛书题名：MEMS Reference Shelf
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