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Mechanical Microsensors
EISBN：9783662043219
PISBN：9783642087066
出版社：Springer Berlin Heidelberg
出版类型：Monograph
出版时间：2001
作者：Miko Elwenspoek,Remco Wiegerink
主题词：Nanotechnology,Theoretical and Applied Mechanics,Measurement Science and Instrumentation,Electronics and Microelectronics,Instrumentation,Control,Robotics,Mechatronics
语种：英语
所属数据库：SpringerLink电子图书
丛书题名：Microtechnology and MEMS
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