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CMOS Cantilever Sensor Systems
EISBN：
9783662050606
PISBN：
9783642077289
出版社：
Springer Berlin Heidelberg
出版类型：
Monograph
出版时间：
2002
作者：
D. Lange,O. Brand,H. Baltes
主题词：
Nanotechnology,Control,Robotics,Mechatronics,Engineering,general,Measurement Science and Instrumentation
语种：
英语
所属数据库：
SpringerLink电子图书
丛书题名：
Microtechnology and MEMS
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