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Multicomponent and Multilayered Thin Films for Advanced Microtechnologies: Techniques, Fundamentals and Devices
EISBN：9789401117272
PISBN：9780792322658
出版社：Springer Netherlands
出版类型：Contributed volume
出版时间：1993
版次：1993
作者：O. Auciello,Jürgen Engemann
主题词：Materials Science,Characterization and Evaluation of Materials,Materials Science,general,Electronics and Microelectronics,Instrumentation,Optical and Electronic Materials,Metallic Materials,Ceramics,Glass,Composites,Natural Materials
语种：英语
所属数据库：SpringerLink电子图书(1815-2004)
丛书题名：Nato Science Series E:
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