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Modeling of Chemical Vapor Deposition of Tungsten Films
EISBN：9783034877411
PISBN：9783034877435
出版社：Birkhäuser Basel
出版类型：Monograph
出版时间：1993
作者：Chris R. Kleijn,Christoph Werner
主题词：Science,general
语种：英语
所属数据库：SpringerLink电子图书
丛书题名：Progress in Numerical Simulation for Microelectronics
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