等离子体增强型原子层沉积系统原位掺杂改性纳米材料及其性能研究

等离子体增强型原子层沉积系统原位掺杂改性纳米材料及其性能研究

出版年：2013

作者：饶志鹏

资源类型：图书

细分类型：学位论文

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