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Handbook for critical cleaning
出版社：Boca Raton, FL : CRC Press, c2011.
ISBN：9781439828298
出版年：2011
作者：Kanegsberg,Barbara.
资源类型：图书
细分类型：西文文献
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Handbook of cleaning for semiconductor manufacturing : fundamentals and applications
  • 作者：Reinhardt,Karen A.
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  • 出版年：2011
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Handbook of semiconductor wafer cleaning technology : science, technology, and applications
  • 作者：Kern,Werner,
  • ISBN：0815513313
  • 出版社：Park Ridge, N.J., U.S.A. : Noyes Publications, c1993.
  • 出版年：1993