圆形平面永磁电磁复合式磁控溅射阴极设计与放电等离子体特性分析

圆形平面永磁电磁复合式磁控溅射阴极设计与放电等离子体特性分析

出版年：2018

作者：汪天龙

资源类型：图书

细分类型：学位论文

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