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Lithography Asia 2009 : 18-19 November 2009 Taipei Taiwan
出版社：Bellingham, Wash. : SPIE--the International Society for Optical Engineering, c2009.
ISBN：9780819479099
出版年：2009
作者：Chen,Alek C.
资源类型：图书
细分类型：西文文献,馆内阅览
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  • 出版社：Piscataway, N.J. : IEEE, c2009.
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  • 出版社：Piscataway, NJ : IEEE, c2009.
  • 出版年：2009