用于柔性传感的超微型MEMS器件技术研究

用于柔性传感的超微型MEMS器件技术研究

出版社：中国科学院上海微系统与信息技术研究所

出版年：2023

作者：封玮雯

资源类型：图书

细分类型：中文文献

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