微电子机械系统力学性能及尺寸效应

微电子机械系统力学性能及尺寸效应

出版社：机械工业出版社

ISBN：9787111255758

出版年：2009

作者：刘凯

学科：电技术、电子技术

资源类型：图书

细分类型：中文文献

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