面向红外热辐射探测器的二氧化硅气凝胶隔热薄膜技术研究

面向红外热辐射探测器的二氧化硅气凝胶隔热薄膜技术研究

出版社：中国科学院大学集成电路学院

出版年：2024

作者：王子栋

资源类型：图书

细分类型：学位论文

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