面向纳米芯片可制造性设计的铜互连工艺建模与应用技术研究

面向纳米芯片可制造性设计的铜互连工艺建模与应用技术研究

出版年：2012

作者：阮文彪

资源类型：图书

细分类型：学位论文

1浏览量

问图书管理员

点赞

收藏

访问借阅管理系统

纳米芯片的铜互连工艺建模与应用技术研究

作者：陈洁
出版年：2013

面向可持续制造的纳米技术

作者：里克白
ISBN：9787111519546
出版社：机械工业出版社
出版年：2016

面向SWCNTs纳米器件的批量化装配制造技术研究

作者：许可
出版年：2012

纳米时代基于CMP平坦化工艺的可制造性研究

作者：文鼎童
出版年：2009

面向GAA纳米片结构的内侧墙工艺仿真研究

作者：来盼盼
出版社：中国科学院大学集成电路学院
出版年：2024

基于MEMS工艺的硅纳米线及其FET制造技术研究

作者：戴鹏飞
出版年：2015