登录
 机构网站
  1. 首页
  2. 馆藏纸本
  3. 图书详情
...

(111)硅片上高性能大小量程加速度传感器的集成技术研究
出版社：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
出版年：2024
作者：郑梦瑶
资源类型：图书
细分类型：学位论文
2浏览量
 馆际互借
访问借阅管理系统
相关推荐
...

小量程悬臂梁微机械压阻式加速度传感器研究
  • 作者：李浩
  • 出版年：2001
...

(111)硅片上的高性能MEMS压阻传感器技术研究
  • 作者：邹宏硕
  • 出版年：2017
...

(111)硅片的高性能热堆式气体流量传感器及其封装技术研究
  • 作者：黄涛
  • 出版社：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 出版年：2022
...

高量程微机械压阻式加速度传感器研究
  • 作者：黄全平
  • 出版年：2002
...

MEMS电容式加速度传感器单片集成接口电路研究
  • 作者：赵楷
  • 出版年：2008
...

MEMS电容式加速度传感器相关检测技术研究
  • 作者：吴浩
  • 出版年：2006