基于超精密激光直写系统制作大尺寸光栅的研究

基于超精密激光直写系统制作大尺寸光栅的研究

出版社：中国科学院上海光学精密机械研究所

出版年：2019

作者：李民康

资源类型：图书

细分类型：中文文献

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