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Micromachining and microfabrication process technology and devices : 7-9 November 2001 Nanjing Chi
出版社：Bellingham, Wash., USA : SPIE, c2001.
ISBN：0819443409
出版年：2001
作者：Micromachining and Microfabrication Process Technology and Devices Conference
资源类型：图书
细分类型：西文文献
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