相关推荐

氮化铝MEMS谐振器关键技术研究

  • 作者:杨健
  • 出版年:2015

掺钪氮化铝薄膜体声波谐振器技术研究

  • 作者:赵佳
  • 出版社:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 出版年:2023

高钪掺杂氮化铝压电材料及体声波谐振器研究

  • 作者:朱宇波
  • 出版社:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 出版年:2022

基于氮化铝和铌酸锂薄膜的兰姆波压电谐振器研究

  • 作者:刘康福
  • 出版社:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 出版年:2023

C轴取向氮化铝薄膜制备、退火处理和谐振器研究

  • 作者:陈妍朴
  • 出版社:中国科学技术大学
  • 出版年:2023