集成电路先进制造工艺中含氢非晶碳的制备与研究

集成电路先进制造工艺中含氢非晶碳的制备与研究

出版社：中国科学院大学微电子学院

出版年：2019

作者：邹雄峰

资源类型：图书

细分类型：中文文献

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