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Emerging lithographic technologies XI : 27 February-1 March 2007 San Jose California USA.
出版社：Bellingham, Wash. : SPIE, c2007.
ISBN：0819466360
出版年：2007
作者：Lercel,Michael J.
资源类型：图书
细分类型：西文文献
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Emerging lithographic technologies XI : 27 February-1 March 2007, San Jose, California, USA.
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  • 出版社：Bellingham, Wash. : SPIE, c2008.
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Optical microlithography XX : 27 February-2 March 2007, San Jose, California, USA.
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Emerging lithographic technologies IX : 1-3 March, 2005, San Jose, California, USA
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Emerging patterning technologies : 27 February - 1 March 2017, San Jose, California, United States
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  • 出版社：Bellingham, Washington : SPIE, 2017.
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