CN及相关薄膜的偏压辅助热丝化学气相沉积与生长机理研究

CN及相关薄膜的偏压辅助热丝化学气相沉积与生长机理研究

出版年：1998

作者：龚政

资源类型：图书

细分类型：学位论文

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