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Amorphous silicon carbide thin films : deposition characterization etching and piezoresistive sen
出版社：Hauppauge, N.Y. : Nova Science Publishers, c2011.
ISBN：9781613247747
出版年：2011
作者：Fraga,Mariana Amorim.
资源类型：图书
细分类型：西文文献
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