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Micron and submicron integrated circuit metrology : August 22-23 1985 San Diego California
出版社：Bellingham, Wash., USA : SPIE--International Society for Optical Engineering, 1985.
ISBN：0892526009
出版年：1985
作者：Monahan,Kevin M.
资源类型：图书
细分类型：西文文献
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