登录
 机构网站
  1. 首页
  2. 馆藏纸本
  3. 图书详情
...

基于分子玻璃的极紫外光刻胶材料的性能研究
出版年：2014
作者：陈力
资源类型：图书
细分类型：学位论文
1浏览量
 馆际互借
访问借阅管理系统
相关推荐
...

极紫外光刻
  • 作者：莱文森
  • ISBN：9787547857212
  • 出版社：上海科学技术出版社
  • 出版年：2022
...

多光子分子玻璃光刻胶的合成及特性研究
  • 作者：李浩
  • 出版年：2012
...

掩模误差对极紫外光刻成像性能的影响研究
  • 作者：李晨
  • 出版社：中国科学院微电子研究所
  • 出版年：2024
...

基于卷积的极紫外光刻空间像快速仿真模型研究
  • 作者：景旭宇
  • 出版社：中国科学院大学集成电路学院
  • 出版年：2022
...

极紫外光刻动态气体锁典型结构的性能研究
  • 作者：高梓翔
  • 出版社：中国科学院微电子研究所
  • 出版年：2024
...

极紫外光刻掩模热变形及其对光刻性能的影响
  • 作者：周鹏飞
  • 出版年：2006