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Journal of Vacuum Science & Technology. B Microelectronics and Nanometer Structures :Processing Me
出版社：
the American Institute of Physics
ISBN：
10711023
出版年：
1991
作者：
American Institute of Physics
资源类型：
期刊
细分类型：
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出版年：
1991
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作者：
American Vacuum Society
ISBN：
0734211X
出版社：
Published for the Society by the American Institute of Physics
出版年：
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ISBN：
21662746
出版社：
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2010
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作者：
American Vacuum Society
ISBN：
07342101
出版社：
Published for the Society by the American Institute of Physics
出版年：
1983
Progress in vacuum science and technology.
作者：
Barrett,A. S. D.,
出版社：
New York : Pergamon Press, 1959.
出版年：
1959
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