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Submicron lithography
出版社：Bellingham, Wash. : International Society for Optical Engineering, 1982.
ISBN：0892523689
出版年：1982
作者：Blais,Phillip D.
资源类型：图书
细分类型：西文文献
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  • 作者：NATO Advanced Study Institute on Improved Methods for Examining the Submicron World
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  • 出版社：New York : Plenum Press, c1986.
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