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Silicon nitride and silicon dioxide thin insulating films : proceedings of the Fifth International S
出版社：
Pennington, N.J. : The Electrochemical Society, c1999.
ISBN：
1566772281
出版年：
1999
作者：
Sundaram,K.B.,
资源类型：
图书
细分类型：
西文文献
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1983
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