硅衬底上氮化锆薄膜磁控溅射制备生长研究

硅衬底上氮化锆薄膜磁控溅射制备生长研究

出版社：中国科学院半导体研究所

出版年：2021

作者：高洁

资源类型：图书

细分类型：学位论文

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磁控溅射制备氮化铜薄膜的结构与性能

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