基于一体化电极的MEMS 电化学角加速度传感器的研制

出版社:中国科学院空天信息创新研究院
出版年:2022
作者:刘博文
资源类型:图书
细分类型:学位论文
相关推荐

硅基集成四电极结构的MEMS电化学角加速度传感器研究

  • 作者:张明博
  • 出版社:中国科学院空天信息创新研究院
  • 出版年:2024

基于电磁力负反馈的MEMS电化学角加速度传感器研究

  • 作者:梁天
  • 出版社:中国科学院空天信息创新研究院
  • 出版年:2023

基于硅基三电极结构的电化学角加速度计研究

  • 作者:陈明惟
  • 出版社:中国科学院空天信息创新研究院
  • 出版年:2022

MEMS电化学地震检波器的一体化集成研究

  • 作者:齐文杰
  • 出版社:中国科学院空天信息创新研究院
  • 出版年:2022

基于光学MEMS技术的微型加速度传感器

  • 作者:王小伟
  • 出版年:2015