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反应溅射中靶的氧化与薄膜显微结构研究：纯氧中直流平面磁控溅射ZnO薄膜
出版社：中国科学院上海硅酸盐研究所
出版年：1985
作者：黄毓虹著
资源类型：图书
细分类型：中文文献
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