FinFET工艺下基于版图依赖效应的工艺设计协同优化技术研究

FinFET工艺下基于版图依赖效应的工艺设计协同优化技术研究

出版社：中国科学院大学集成电路学院

出版年：2023

作者：陆仁杰

资源类型：图书

细分类型：学位论文

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