相关推荐

基于Al-Sc合金高可靠性接触式RF MEMS开关的研究

  • 作者:侯中轩
  • 出版社:中国科学院半导体研究所
  • 出版年:2024

基于MEMS技术的总磷微传感器研究

  • 作者:白银
  • 出版年:2013