登录
 机构网站
  1. 首页
  2. 馆藏纸本
  3. 图书详情
...

电子束曝光机多极静电偏转及象差校正系统的研究
出版年：1986
作者：蒋欣荣
资源类型：图书
细分类型：学位论文
2浏览量
 馆际互借
访问借阅管理系统
相关推荐
...

纳米级电子束曝光机聚焦偏转系统的研究
  • 作者：刘珠明
  • 出版年：2005
...

电子束曝光机对准软件研究
  • 作者：张今朝
  • 出版年：2006
...

电子束复合聚焦偏转系统及像差校正技术研究
  • 作者：史丽娜
  • 出版社：中国科学院电工研究所
  • 出版年：2024
...

基于SEM的电子束曝光软件系统研究
  • 作者：魏淑华
  • 出版年：2008
...

扫描电子束曝光机复合物镜的研究与设计
  • 作者：夏善红
  • 出版年：1986
...

微型阵列式束闸的电子束偏转特性研究
  • 作者：张雨露
  • 出版社：中国科学院电工研究所
  • 出版年：2023