相关推荐

高精度镜面位置控制的微位移促动器研究

  • 作者:帅雨林
  • 出版社:中国科学院南京天文光学技术研究所
  • 出版年:2023

高精度力促动器控制系统的设计

  • 作者:王晶
  • 出版年:2016

压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究

  • 作者:李朋志
  • 出版社:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  • 出版年:2019

基于音圈电机的主动光学力促动器的研究

  • 作者:陈子豪
  • 出版年:2012