双离子束动态反冲混合法制备TaN及Ta(C,N)薄膜及其性能研究

双离子束动态反冲混合法制备TaN及Ta(C N)薄膜及其性能研究

出版年：1992

作者：阎军

资源类型：图书

细分类型：学位论文

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