一种新型的正性电子束抗蚀剂-α-(1,1,2,2-α氟乙基)－丙烯腈及α －(1,1,2,2-α氟

一种新型的正性电子束抗蚀剂-α-(1 1 2 2-α氟乙基)－丙烯腈及α －(1 1 2 2-α氟

出版年：1989

作者：林广德

资源类型：图书

细分类型：学位论文

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