相关推荐

MEMS谐振器的高真空封装研究

  • 作者:逯玉洁
  • 出版社:中国科学院半导体研究所
  • 出版年:2023

MEMS/NEMS谐振器技术

  • 作者:张文明
  • ISBN:9787030757197
  • 出版社:科学出版社
  • 出版年:2023

基于膜变形和体压缩的高精度谐振式MEMS高压传感器研制

  • 作者:钱攀
  • 出版社:中国科学院空天信息创新研究院
  • 出版年:2024

基于多谐振器耦合的谐振式MEMS差压传感器的研究

  • 作者:程超
  • 出版社:中国科学院空天信息创新研究院
  • 出版年:2023