基于高次谐波的极紫外光源及其单色化技术

出版社:中国科学院空天信息创新研究院
出版年:2024
作者:李逵
资源类型:图书
细分类型:学位论文
相关推荐

中心对称晶体中紫外三次谐波的研究

  • 作者:石梦静
  • 出版年:2018

极紫外光刻

  • 作者:莱文森
  • ISBN:9787547857212
  • 出版社:上海科学技术出版社
  • 出版年:2022

极紫外光刻光源掩模优化方法研究

  • 作者:林佳欣
  • 出版社:中国科学院微电子研究所
  • 出版年:2022

激光等离子体极紫外光刻光源

  • 作者:窦银萍
  • ISBN:9787118117936
  • 出版社:国防工业出版社
  • 出版年:2018

极紫外BRV光源的研究

  • 作者:郭玉彬
  • 出版年:1991