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Characterization of plasma-enhanced CVD processes : symposium held Nov. 27-28 1989 Boston Mass.
出版社:
Pittsburgh : MRS, c1990.
ISBN:
1558990534
出版年:
1990
作者:
Symposium on Characterization of Plasma Enhanced CVD Processes
资源类型:
图书
细分类型:
西文文献
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Surface phenomena : proceedings of the Symposium, held Jan. 27-28, 1964, at Boston, Mass.
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New York : Plenum Press, 1966.
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1966
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