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Micromachining and microfabrication process technology IX : 27-29 January 2004 San Jose California
出版社：Bellingham, Wash., USA : SPIE, c2004.
ISBN：0819452505
出版年：2004
作者：Perez-Maher,Mary Ann.
资源类型：图书
细分类型：西文文献
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