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用于高迁移率超薄体MOSFET及量子计算器件的Si_(1-x-y)Ge_xSn_y异质外延生长研究
出版社：中国科学院微电子研究所
出版年：2023
作者：孔真真
资源类型：图书
细分类型：学位论文
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