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Integrated circuit metrology inspection and process control IX
出版社：Bellingham : SPIE, 1995.
ISBN：0819417874
出版年：1995
作者：Bennett,Marylyn H.,
资源类型：图书
细分类型：西文文献
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  • 出版社：Bellingham, c1990
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  • 作者：Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers.
  • ISBN：0819403083 48.90
  • 出版社：Bellingham, c1990
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  • 出版社：Bellingham, Wash., USA : SPIE, c1988.
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