登录
机构网站
切换导航
首页
到馆服务
学科服务
研究支持
情报产品
数据资源
科学传播
关于我们
首页
馆藏纸本
图书详情
集成电路与光刻机
出版社:
科学出版社
ISBN:
9787030657923
出版年:
2020
作者:
王向朝
学科:
电技术、电子技术
资源类型:
图书
细分类型:
中文文献
1浏览量
问图书管理员
馆际互借
点赞
收藏
访问借阅管理系统
分享
相关推荐
超大规模集成电路先进光刻理论与应用
作者:
韦亚一
ISBN:
9787030482686
出版社:
科学出版社
出版年:
2016
现代集成电路工厂中的先进光刻工艺研发方法与流程
作者:
李艳丽
ISBN:
9787302664185
出版社:
清华大学出版社
出版年:
2024
国外集成电路光刻制版自动化
作者:
上海市半导体器件科技情报协作网
出版社:
上海科学技术情报研究所
出版年:
1977
集成电路光刻热点检测技术研究
作者:
盖天洋
出版社:
中国科学院微电子研究所
出版年:
2022
光刻机照明系统光瞳特性评估算法研究
作者:
甘雨
出版社:
中国科学院上海光学精密机械研究所
出版年:
2019
光刻机照明系统高精度光束稳定技术研究
作者:
王俊
出版年:
2014
×
访问借阅管理系统