高纯三氯氢硅精馏工艺的节能优化与控制策略

高纯三氯氢硅精馏工艺的节能优化与控制策略

出版社：中国科学院过程工程研究所

出版年：2022

作者：尹民

资源类型：图书

细分类型：中文文献

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