光学邻近效应修正及其在掩模基板缺陷补偿方面的应用研究

光学邻近效应修正及其在掩模基板缺陷补偿方面的应用研究

出版社：中国科学院微电子研究所

出版年：2024

作者：吴睿轩

资源类型：图书

细分类型：学位论文

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