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Emerging lithographic technologies III
出版社：Bellingham : SPIE, 1999.
ISBN：0819431508
出版年：1999
作者：Vladimirsky,Y.
资源类型：图书
细分类型：西文文献
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  • ISBN：0819431508
  • 出版社：Bellingham, Wash. : SPIE, c1999.
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Emerging lithographic technologies V : 27 February-1 March 2001, Santa Clara, USA
  • 作者：Dobisz,Elizabeth Ann.
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  • 出版社：Bellingham, Wash., USA : SPIE, c2001.
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Emerging lithographic technologies XI : 27 February-1 March 2007, San Jose, California, USA.
  • 作者：Lercel,Michael J.
  • ISBN：0819466360
  • 出版社：Bellingham, Wash. : SPIE, c2007.
  • 出版年：2007