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CMP technology for ULSI interconnection : July 13 1999 SEMICON West 99 San Francisco Marriott Sa
出版社：[California] : SEMI, c1999.
ISBN：1892568292
出版年：1999
作者：Semiconductor Equipment and Materials International.
资源类型：图书
细分类型：西文文献
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Semicon/west technical program
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